다음 화학기상증착법에 의한 박막성장의 단계를 진행 순서대로 바르게 나열한 것은? ㄱ. 표면에서 반응물의 흡착 ㄴ. 표면에서 화학종의 이동 ㄷ. 표면으로 반응물의 이동 ㄹ. 경계층 밖으로 부생성물의 확산 ㅁ. 표면으로부터 부생성물의 탈착