전자탐침미세분석기(EPMA)가 미소영역 원소분석에 주로 이용하는 신호는?

집속 전자빔이 시료 원자를 여기하면 원소별 에너지를 갖는 특성 X선이 발생하며 이를 파장 또는 에너지로 분광해 미소영역 조성을 구합니다.